产品介绍
Product introduction
产品介绍
Product introduction
LDLS激光驱动光源
产品简介：
激光驱动光源 (LDLS) 是美国 Energetiq Technology inc. 开发的创新光源，该公司是滨松光子学株式会社的子公司。LDLS 是世界上唯一利用聚焦激光光束在氙气灌注灯泡的放电电极之间生成和维持等离子体的光源。
滨松的LDLS宽光谱高亮度光源是一种激光驱动白光光源，综合了单点光源的多个优点：
● 宽光谱：170nm~2um
● 超高亮度/辉度
● 超长寿命，超高稳定性
● 符合全球晶圆代工厂的工业标准
● 高可靠性保证365天不停歇的工作
应用
● 半导体量测与检测
● 光纤与光学元件检测
● 光谱仪，单色光源
● 生命科学&生物成像
● 材料表征&薄膜监控
● 光学传感器测试
光谱辐射对比图
参数指标
型号 | EQ-99X-QZ-S | EQ-99X-FC-S | EQ-99X-CAL-S | EQ-77-QZ-S | EQ-400-RH-QZ-S |
光学接口 | 发散光束 | 光纤耦合 | 发散光束 | 发散光束 | 发散光束 |
波长范围 | 170nm-2500nm | 190nm-2500nm | 170-2500nm 校准200-800nm 波长间隔5nm NPL可追溯 | 170-2500nm | 170-2500nm |
宽谱光功率（典型值） | 0.75W | 根据光纤芯径 | 0.5W | 2.75W | 15W |
光谱辐射亮度（500nm） | 25mW/mm2.sr.nm | ~60 μW/nm | 10 mW/mm2.sr.nm | 75mW/mm2.sr.nm | 110mW/mm2.sr.nm |
数值孔径NA | 0.47 | 0.22 | 0.56 | 0.5 | 0.5 |
等离子体尺寸（典型值） | 100um×180um | 100um×180um | 125um×320um | 125um×320um | 370um×800um |
输出窗口直径 | 22mm | FC/SMA | 22mm | 22mm | 22mm |
输出窗口材料 | 石英 | - | 石英 | 石英 | 石英 |
制冷 | 无需制冷 | 无需制冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
氮气 | 建议 | 建议 | 需要 | 需要 | 需要 |
预热时间 | 30min | 30min | 20min | 30min | 30min |
寿命 | >10000 hours | ||||
光源尺寸 | 82×86×76mm 3.2×3.4×3.0 in | 82×86×76mm 3.2×3.4×3.0 in | 109×120×43mm 4.3×4.7×1.7 in | 128×175×102mm 5.0×6.9×4.0 in | 136×145×56mm 5.4×5.7×2.2 in |
光源重量 | 0.7kg 1.5lbs | 0.7kg 1.5lbs | 0.91kg 2lb | 2.2kg 4.9lb | 2.7kg 6.0lb |
控制器尺寸 | 113×111×299mm 4.4×4.4×11.8 in | 113×111×299mm 4.4×4.4×11.8 in | 38×197×93mm 1.5×7.6×3.7 in | 152×250×132mm 6.0×9.8×5.2 in | 133×483×584mm 5.2×19.0×23.0 in |
控制器重量 | 1.4kg 3.0lbs | 1.4kg 3.0lbs | 0.68kg 1.5lb | 2.9kg 6.5lb | 18.8kg 41.5lb |
主要特点：
主要应用：
参数指标